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產(chǎn)品分類
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--MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)是一個緊湊的離線臺式檢測設(shè)備,主要被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下(μ-PCD)。
--MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)自動化的樣品識別和參數(shù)設(shè)置可以使該儀器方便地適應(yīng)各種不同的樣品,包括從生長的晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓之間不同制備階段的各種外延片和晶圓片。
--MDPmap主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性,它允許集成多達(dá)4個激光器,用于從超低注入到高注入的與注入水平相關(guān)的壽命測量,或者通過使用不同的激光波長提取深度信息。
?設(shè)備特點(diǎn)
--靈敏度:對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的較高分辨率
--測量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘
--壽命測試范圍: 20納秒到幾十毫秒
--沾污檢測:源自坩堝和生長設(shè)備的金屬(Fe)污染
--測量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
--靈活性:允許外部激光通過觸發(fā)器,與探測模塊耦合
--可靠性: 模塊化和緊湊臺式儀器,更高可靠性,正常運(yùn)行時(shí)間> 99%
--重現(xiàn)性: > 99.5%
--電阻率:無需時(shí)常校準(zhǔn)的電阻率面掃描
?設(shè)備參數(shù)
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服務(wù)熱線:
021-34685181
17621138977