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產(chǎn)品中心MDP單晶和多晶硅片壽命測量儀(MDPmap)
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MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀被設計成一個緊湊的臺式非接觸電學表征工具，用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個寬的注入范圍內(nèi)測量參數(shù)，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設置允許輕松適應各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。
更新時間：2024-09-12
產(chǎn)品型號：MDPmap-1
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